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一、真空泵常用性能參數(shù)詳注
1．抽氣速率(體積流率)
當(dāng)泵裝有規(guī)范實(shí)驗(yàn)罩并按規(guī)則條件作業(yè)時，從實(shí)驗(yàn)罩流過的氣體流量與在實(shí)驗(yàn)罩上選定方位測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。
2．更限壓力（更限真空）（單位：Pa/MPa/mmHg）
泵裝有規(guī)范實(shí)驗(yàn)罩并按規(guī)則條件作業(yè)，在不引進(jìn)氣體正常作業(yè)的情況下，趨向安穩(wěn)的低壓力。即真空泵的進(jìn)口端通過充沛抽氣后所能到達(dá)的低的安穩(wěn)的壓力。
3．起動壓力
泵無損壞起動并有抽氣效果的壓力
4．前級壓力
排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。
5．前級壓力
超過了能使泵損壞的前級壓力。
6．作業(yè)壓力
對應(yīng)抽氣量的進(jìn)口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)作業(yè)而不惡化或損壞·
7．抽氣量（Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）
流經(jīng)泵進(jìn)口的氣體流量。
8．壓縮比
泵對給定氣體的出口壓力與進(jìn)口壓力之比。
綜上所述：真空泵的抽氣速率和更限壓力兩個參量是在實(shí)際使用中選配真空泵的重要的參量。
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