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真空設(shè)備中零件污染了怎么辦?真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能透徹解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。
一、溶劑去油
零件所粘附的油脂分為礦物油、動(dòng)植物油兩大類(lèi)，礦物油可用有機(jī)溶劑去除，動(dòng)植物油可用堿溶液化學(xué)去除，但實(shí)際上兩類(lèi)油脂經(jīng)常同時(shí)存在，所以在清洗時(shí)往往需要先后采用數(shù)種不同的溶劑。
1、堿液去油
當(dāng)零件浸入堿液時(shí)，由于堿液與油脂的化學(xué)作用可使動(dòng)植物油轉(zhuǎn)化為脂肪酸鹽類(lèi)(皂化作用)，這些鹽類(lèi)能溶解于水，從而能使零件除去油脂。金屬零件從去油溶液中取出后應(yīng)立即在溫水中透徹清洗，然后再用冷水清洗。若金屬表面不水濕潤(rùn)(有水滴)即表示油污尚未除盡，應(yīng)再次進(jìn)行處理。
2、有機(jī)溶劑去油
有機(jī)溶劑能夠溶解礦物油和動(dòng)植物油，通?？膳c堿液去油配合使用，常用有機(jī)溶劑有三氯乙烯(C2HCl3)、四氯乙烯(CCl4)、丙酮(C3H6O)、汽油、乙醚等。水是各種無(wú)機(jī)物和其他物質(zhì)的良好溶劑，由于自來(lái)水中含有較多的氯離子，所以一般均用加熱后的自來(lái)水進(jìn)行清洗，當(dāng)要求較高時(shí)，可采用蒸餾水或去離子水，通常用流動(dòng)的熱水清洗電鍍后和用酸、堿腐蝕后的零件。
二、酸、堿浸蝕處理
去油后進(jìn)行浸蝕處理，目的是去除金屬表面的氧化物，經(jīng)過(guò)熱處理的零件，油污已不存在，可直接進(jìn)行浸蝕處理，以去除退火后的氧化層。浸蝕處理一般在酸性溶液中進(jìn)行，大多數(shù)金屬的氧化物以及金屬本身都能與適當(dāng)濃度的酸溶液起化學(xué)反應(yīng)，氧化物與酸反應(yīng)生成鹽和水，金屬與酸作用生成鹽和氫氣，氫氣的一部分被金屬表面吸附后，會(huì)使某些金屬變脆，為了避免金屬變脆和過(guò)度腐蝕，可在浸蝕液中加入緩蝕劑，并適當(dāng)控制浸蝕溶液的的濃度及溫度。
三、電化學(xué)清洗
將待清洗的金屬零件放在某種溶液中，并將零件接在電源的正更或負(fù)更，另外再用某一材料制作成的更板接電源的另一更，調(diào)節(jié)電源電壓，獲得一定電流密度，達(dá)到去油和去除金屬表面氧化層的目的。
電解去油的效率比化學(xué)去油高好幾倍，如果用堿液作為電解液，可用交流或直流作為電源，但交流的電解去油速率不如直流快。電解去油的原理是：電解時(shí)在電更上產(chǎn)生劇烈的氣泡(在陰更上產(chǎn)生氫氣，陽(yáng)更上產(chǎn)生氧氣)，零件上附著的油脂薄層因受機(jī)械力的沖擊而破壞，同時(shí)，油脂和堿液起皂化和乳化作用，加速了去油過(guò)程。電解用的電源電壓通常為2～12V，更間距離為5～15cm。
四、超聲波清洗
超聲波清洗的原理是利用它所造成介質(zhì)的“空隙現(xiàn)象”，即超聲波的振動(dòng)引起清洗介質(zhì)疏密變化而達(dá)到清洗目的。振動(dòng)使介質(zhì)時(shí)而稀疏，時(shí)而閉合，稀疏時(shí)形成瞬時(shí)的空隙;閉合時(shí)產(chǎn)生瞬時(shí)沖擊力可達(dá)到幾個(gè)大氣壓，這個(gè)強(qiáng)大的沖擊能破壞物體表面的油膜，使之和污染物一起脫離物體表面被沖落到溶液中。
超聲波清洗可以去掉零件上孔內(nèi)部的污染物，這是一般清洗方法所無(wú)法實(shí)現(xiàn)的，超聲波清洗的溶液可以用水和其它溶劑，若用三氯乙烯會(huì)有更好的去油效果，常用工作頻率為4～10MHz。