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分子泵使用時也要注意監(jiān)測其排氣口的壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高，造成負荷過大，泵溫過高等，分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，有機溶劑等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（PurgeValve），工作過程中利用吹掃氣（一般為干燥氮氣）持續(xù)對軸承進行吹掃，以達到隔離污染物，保護軸承的目的，分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時，會有一系列的現(xiàn)象，如分子泵無法啟動，運行噪音外加，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進排氣壓力過高等外界因素后，應(yīng)盡快停泵，送到維修主題進行檢修。
分子泵維修服務(wù)包括對整泵進行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動平衡調(diào)試和泄漏檢測等，由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長時間（5年以上），或者出現(xiàn)了噪音、溫度、功率異常，及時的對其進行維護保養(yǎng)可以大大延長其使用壽命。
分子泵內(nèi)有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片。實際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯(lián)組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉(zhuǎn)動時又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。