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分子真空泵簡稱分子泵
瀏覽次數(shù)：0 日期：2022-11-05
分子真空泵抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、更高真空應(yīng)用領(lǐng)域的主流獲得設(shè)備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用，工作原理可分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵三種，用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵。
分子真空泵常見應(yīng)用：節(jié)能燈生產(chǎn)行業(yè)及相關(guān),研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)核磁共振成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應(yīng)用等)泄漏檢測(真空系統(tǒng)、車輛的油箱、更安全氣囊）真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金)鍍膜(表面保護(hù)、裝飾涂料、顯示器、屏幕)光學(xué)/玻璃(熱保護(hù)、增透、反射、光學(xué)濾光膜)半導(dǎo)體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等),在進(jìn)行分子泵拆卸時(shí)通過控制系統(tǒng)或分子泵控制器上的“停止”鍵，停止分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)。切斷分子泵前級與預(yù)抽泵的連接，使整個(gè)分子泵與真空系統(tǒng)隔離。觀察分子泵的運(yùn)轉(zhuǎn)頻率，當(dāng)顯示為“0”后，關(guān)閉電源，并斷開主電纜。對于故障分子泵，關(guān)閉分子泵進(jìn)氣口處的擋板閥或者插板閥，切斷分子泵與真空腔室的連接。
分子泵保養(yǎng)時(shí)的動平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。
